工作原理
除尘头里有一个超声波发生腔和俩个真空吸附腔。尘粒在吸附层作用下粘附于玻璃基板表面,要想去除尘粒,必须克服尘粒的粘附力。通过鼓风机,给除尘头的超声波发生腔提供 8-16Kpa 的洁净气体,气体通过超声波发生器产生超声波,利用超声波传播的能量及振动,使尘粒克服玻璃基板表面的粘附力,以拉升、滚动及滑动三种运动方式(单一或混合)从玻璃基板表面脱离,使得尘粒从玻璃基板表面分离出来。除尘头的真空腔是用来吸附尘粒。当尘粒从玻璃基板表面分离出来后,利用超声波的反射将的尘粒带动起来,运动的尘粒瞬间被清洗头的真空吸附腔吸走,从而达到清洗玻璃表面尘粒的效果。
产品特点
除尘非接触式,对产品不会造成损伤;
超声波发生腔不易衰竭,持久温度,少易损件;
闭环系统,以内部循环的洁净空气作为介质,不会破坏洁净车间的空气平衡,不会造成 2次污染;
设计结构紧凑,容易安装;
可根据产品的大小,设计合适的宽度及订制
原理简介图
型号规格
工作间距;1.5mm.(出凤全部被吸回无泄罪的条件下,正压为在除坐头入口端口测量的内部压力)